檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Meng-Jiy Wang".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="戴龑"
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本研究利用X光光電子能譜 (X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS),分析經改質處理後之薄膜材料及元件化學結構及界面現象。 探討之元件及材料處理程序包括…
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本研究主要為設計、組裝、測試真空製程及分析系統。此系統分為三部分,其一為前置樣品傳送腔體(Load-lock chamber),可快速傳送樣品進入其他腔體;其二為製程腔體,包含電子蒸鍍槍(Elect…